勻膠機(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
行業(yè)俗稱:勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、涂層機
型號:650Mz-23NPP/OND
一、產(chǎn)品概述:
650S型勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列勻膠機具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650S 型勻膠機的特點。
二、勻膠機工作原理:
勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
三、勻膠機主要性能指標(biāo):
1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤);
3、轉(zhuǎn)動速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載);
5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%;
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm;
7、工藝時間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
8、勻膠機材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
9、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點精度小于0.006%。
10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且無需再校準(zhǔn)!]
12、配套真空泵系統(tǒng):無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、原裝進口水平測試儀;
15、兩袋密封圈;
16、廢液接收單元;
17、OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計,帶遠程控制;
可選配置:
IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計,帶遠程控制;
OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計,帶遠程控制;
UD自動滴膠裝置:UD-2帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒,
EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,機械裝置;
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