儀器介紹
 
 K550X具有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，它也可傾斜，非常適合各種樣品使用。預(yù)選擇參數(shù)及全自動(dòng)控制使得精確鍍層及重復(fù)厚度沉積更為方便。
    使用磁電管靶在低電壓時(shí)可提高效率，K550X能得到非常精細(xì)的顆粒，由于是冷濺射，所以無(wú)需冷卻靶面或樣品臺(tái)。
    腔室直徑為165 mm（6英寸），非常方便裝載及移走樣品。
    儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶（或用戶選擇），提供最適合的性能價(jià)格比?？蛇x靶材包括金/鈀，鉑/鈀和鉑。
    功能集中在儀器面板上及即插即用電子學(xué)設(shè)計(jì)，最大的“up-time”，這些用戶友好設(shè)計(jì)滿足了不同學(xué)科的用戶需求。
    濺射參數(shù)可被預(yù)先設(shè)置，包括氣體放氣針閥，此閥為電磁閥，一旦設(shè)置，它就不需要再調(diào)節(jié)。濺射頭互鎖，系統(tǒng)可容易選配K250鍍碳附件。
    本儀器為全自動(dòng)操作，可控制獨(dú)立的真空泵。
 
主要特點(diǎn)
 
·高分辨率精細(xì)涂層(金顆粒達(dá)2 nm)
·均勻厚度沉積(用于掃描電鏡的一般厚度為20nm 或200埃)
·可接膜厚監(jiān)視器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)鍍覆層厚度
·易操作
·無(wú)需冷卻樣品臺(tái)
·精確的再次涂層
·適合各種樣品
·膜厚度重復(fù)性好
·容易裝載或卸載樣品
·可預(yù)設(shè)沉積厚度 
 
技術(shù)參數(shù)
 

1.儀器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H

2.工作腔室：硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H

3.安全鐘罩：聚碳酸酯

4.重量：18公斤

5.靶：60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金作為標(biāo)準(zhǔn)靶面)

6.樣品臺(tái)直徑為60 mm，靶面距離40mm，具有傾斜裝置的旋轉(zhuǎn)臺(tái)

7.真空范圍：ATM-1x10-4 mbar

8.沉積電流范圍：0-50mA

9.沉積速率：0-25nm/分

10.濺射時(shí)間：0-4 分鐘

11.預(yù)設(shè)置針閥：控制氬

12.電源：230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)