被動隔振裝置
蜂窩臺基型空氣彈簧式隔振裝置AYA系列
Type K5
Type K4
AYA 系列可謂是明立精機利用其獨有的先進技術開發(fā)出的集大成之作。通過強化水平方向的隔振性能,區(qū)分垂直、水平全部方向的微小振動,達到了滿足干涉計或全息攝影等光學實驗的需求,而且各個機構的性能也進一步提高,是一個兼?zhèn)涓鞣N鋼制蜂窩夾層臺面優(yōu)點的高性能隔振裝置。
明立精機獨有的平行搖擺機構
內(nèi)置了明立精機所獨有的平行搖擺機構。這樣一來水平方向的固有頻率達到了為以往的1/3以下即0.5Hz。由于很多光學實驗需要將透鏡、棱鏡、反射鏡等利用支架和底座固定在平臺上以后才能進行,這對水平方向上的振動會有微妙的影響,而此機構正是針對這種情況的解決方案。
重視易用性的新機構
把可變阻尼的空氣阻尼機構作為標準配置沒,該機構可以根據(jù)光學實驗狀況自由設定最佳阻尼的。同時將使用了新材料Alpha-GEL的新型減震器用在了AYA 系列上。當平臺在搖晃時,在不影響減震性能的前提下,水平與垂直方向上阻尼都具有更強的使平臺穩(wěn)定的能力,變得更易于使用。
Alpha-GEL是(株式會社)geltec的注冊商標。
AYA-Type K5
M6 的螺孔經(jīng)過標準加工。(請在螺孔中心距50mm與螺孔中心距25mm中指定一個。)
在螺孔的內(nèi)側安裝密封帽,使其成為密封構造。自動調節(jié)水平傳感器如果采用集中排氣型號,即使在級別100的凈化室內(nèi)也能使用。
能在不降低蜂窩夾層平臺剛度的前提下進行連接(選購)。
技術參數(shù)
型號 AYA-1007K5 AYA-1209K5 AYA-1510K5 AYA-1809K5 AYA-1812K5 AYA-2010K5 AYA-2012K5 AYA-2015K5
固有頻率 垂直:1.1Hz 水平:0.5Hz
隔振方式
垂直:隔膜型空氣彈簧 水平: 平行搖擺機構
隔振來源 垂直:Air 可變阻尼孔上的空氣阻尼 水平: Alpha-GEL上的特殊阻尼
水平調節(jié)方式
通過自動調節(jié)水平裝置來自動保持平衡
臺面尺寸(mm) 1030x730 1200x900 1500x1000 1800x900 1800x1200 2000x1000 2000x1200 2000x1500
臺面厚度(mm) 100 200
臺面材質 鋼制蜂窩夾層:上面板為具有磁性的不銹鋼SUS430 5t(6t),下面板SS400 4.5t
機體高度(mm) 800
機體重量(kg) 185 280 365 390 465 440 505 615
承載(kg) 300
共計空氣壓力 0.35-0.70MPa (安裝自帶過濾器的減壓閥)
型號 AYA-2212K5 AYA-2215K5 AYA-2412K5 AYA-2415K5 AYA-3012K5 AYA-3015K5 AYA-3612K5 AYA-4015K5
固有頻率 垂直:1.1Hz 水平:0.5Hz 垂直:1.2Hz 水平:0.8Hz
隔振方式
垂直:隔膜型空氣彈簧 水平: 平行搖擺機構
隔振來源 垂直:Air 可變阻尼孔上的空氣阻尼 水平: Alpha-GEL上的特殊阻尼
水平調節(jié)方式
通過自動調節(jié)水平裝置來自動保持平衡
臺面尺寸(mm) 2200x1200 2200x1500 2400x1200 2400x1500 3000x1200 3000x1500 3600x1200 4000x1500
臺面厚度(mm) 200 300
臺面材質 鋼制蜂窩夾層:上面板為具有磁性的不銹鋼SUS430 5t(6t),下面板SS400 4.5t
機體高度(mm) 800
機體重量(kg) 535 655 580 710 800 995 945 1275
承載(kg) 300
共計空氣壓力 0.35-0.70MPa (安裝自帶過濾器的減壓閥)
標注:固有頻率是最大載荷(平均負載)時的值
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AYA-Type K4
M6 的螺孔經(jīng)過標準加工。(請在螺孔中心距50mm與螺孔中心距25mm中指定一個。)
在螺孔的內(nèi)側安裝密封帽,使其成為密封構造。自動調節(jié)水平傳感器如果采用集中排氣型號,即使在級別100的凈化室內(nèi)也能使用。
能在不降低蜂窩夾層平臺剛度的前提下進行連接(選購)。
技術參數(shù)
型號 AYA-1007K4 AYA-1209K4 AYA-1510K4 AYA-1809K4 AYA-1812K4 AYA-2010K4 AYA-2012K4 AYA-2215K4
固有頻率 垂直:1.1Hz 水平:0.5Hz
隔振方式 垂直:隔膜型空氣彈簧 水平:平行搖擺機構
隔振來源 垂直:可變阻尼孔上的空氣阻尼 水平: Alpha-GEL上的特殊阻尼
水平調節(jié)方式 通過自動調節(jié)水平裝置來自動保持水平
臺面尺寸(mm) 1030x730 1200x900 1500x1000 1800x900 1800x1200 2000x1000 2000x1200 2200x1500
臺面厚度(mm) 100 200
臺面材質 鋼制蜂窩夾層:上面板SUS430 5t(6t), 下面板SS400 4.5t
機體高度(mm) 800
機體重量(kg) 170 250 325 350 410 385 440 535
承載(kg) 300
供給空氣壓力 0.35-0.70MPa (安裝有自帶過濾器的減壓閥)
型號 AYA-2212K4 AYA-2215K4 AYA-2412K4 AYA-3012K4 AYA-3015K4 AYA-3615K4 AYA-4012K4 AYA-4015K4
固有頻率 垂直:1.1Hz 水平:0.5Hz 垂直:1.2Hz 水平:0.8Hz
隔振方式 垂直:隔膜型空氣彈簧 水平:平行搖擺機構
隔振來源 垂直:可變阻尼孔上的空氣阻尼 水平: Alpha-GEL上的特殊阻尼
水平調節(jié)方式 通過自動調節(jié)水平裝置來自動保持水平
臺面尺寸(mm) 2200x1200 2200x1500 2400x1200 3000x1200 3000x1500 3600x1500 4000x1200 4000x1500
臺面厚度(mm) 200 300
臺面材質 鋼制蜂窩夾層:上面板SUS430 5t(6t), 下面板SS400 4.5t
機體高度(mm) 800
機體重量(kg) 465 570 505 655 810 945 830 1025
承載(kg) 300
供給空氣壓力 0.35-0.70MPa (安裝有自帶過濾器的減壓閥)