濕法設(shè)備又名半導(dǎo)體濕制成設(shè)備,Wet Station,半導(dǎo)體清洗設(shè)備。是應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗方面的設(shè)備。
WS-1000濕法設(shè)備產(chǎn)于美國,是原裝的半導(dǎo)體濕制成設(shè)備。
半導(dǎo)體濕制成設(shè)備廠家介紹:
美國Laurell,Inc總部位于美國賓夕法尼亞,成立于1985年,是一家專業(yè)提供化工半導(dǎo)體材料清潔涂敷處理等特殊工藝的公司。公司擁有WS-1000-CP5/ WS-1000-CP7-D等各類半導(dǎo)體清洗設(shè)備,目前客戶已遍布全球。主要半導(dǎo)體濕制成設(shè)備有以WS-1000濕法設(shè)備和WS-1000m濕法設(shè)備為代表的多種半導(dǎo)體清洗設(shè)備。
WS-1000濕法設(shè)備有標(biāo)準(zhǔn)型和更優(yōu)的濕法設(shè)備,標(biāo)準(zhǔn)型濕法設(shè)備使用于一般要求,更好的濕法設(shè)備具有優(yōu)良性能,滿足客戶對半導(dǎo)體清洗設(shè)備的更高要求。半導(dǎo)體清洗設(shè)備有不同型號,請根據(jù)具體需要選擇半導(dǎo)體清洗設(shè)備。推薦的半導(dǎo)體清洗設(shè)備:WS-1000m濕法設(shè)備,
WS-1000濕法設(shè)備的一般特性:
◆全白色聚丙烯構(gòu)造濕法設(shè)備
◆可內(nèi)置任何Laurell公司的旋涂機(jī)
◆排放簡便的入氮口和DI噴頭
◆如果需要更小尺寸有微型的供選擇
WS-1000濕法設(shè)備一般信息:
Laurell公司的WS-1000系列旋轉(zhuǎn)處理濕法設(shè)備可以被配置成測試模塊構(gòu)造,安裝簡便,易于拆卸,更便于操作者控制。典型的WS-1000處理過程包括(但不限于):
◆涂敷
◆蝕刻
◆開發(fā)-水/溶劑
◆清洗-水/溶劑
◆確認(rèn),硫酸/雙氧水(原樣混合)
◆確認(rèn),HBr
◆溫控開發(fā)
◆沖洗/烘干
WS-1000濕法設(shè)備特點(diǎn):
全聚丙烯構(gòu)造(見下文的自滅火功能)
可兼容安裝任何Laurell 旋涂機(jī)
有排孔的濕隔層(易于拆除)
潮濕的空間
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的排氣空間
被熱水器,水泵,容器等隔離的組件/容器
WS-1000濕法設(shè)備選項:
◆排氣聯(lián)鎖控制處理器(一些型號是標(biāo)準(zhǔn)的)
◆加熱和原材料攪拌
◆抵抗力沖洗
◆排水轉(zhuǎn)向裝置
◆真空負(fù)荷棒
◆晶片盒座
◆檢漏
◆輕塔
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