半導(dǎo)體分立器件RCA硅晶圓片濕法刻蝕清洗機(jī) 
品牌：《南軒電子》適用于去除硅晶圓片工件表面的油污及其他有機(jī)物、除膠、去金屬離子等。設(shè)備由清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機(jī)械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架及整機(jī)部分組成。清洗槽部分由有機(jī)溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。關(guān)鍵件均采用進(jìn)口原件，包括氣動(dòng)閥，PFA管道，全氟循環(huán)系統(tǒng)等，保證工作介質(zhì)（酸、堿）的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。 整體采用德國進(jìn)口工程塑料焊接組合加工而成，結(jié)構(gòu)合理，外型美觀。工藝過程全自動(dòng)，機(jī)械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制，可存儲(chǔ)多條工藝時(shí)序，方便使用。 人機(jī)界面為觸摸屏，方便直觀，操作簡便。.除裝片和取片需人工外，其余工藝動(dòng)作均可自動(dòng)完成。設(shè)備適用于微電子半導(dǎo)體行業(yè)，也適合于高?；瘜W(xué)實(shí)驗(yàn)室作實(shí)驗(yàn)濕臺(tái)、腐蝕臺(tái)。非標(biāo)規(guī)格，具體規(guī)格依客戶工藝確定。有需求此方面設(shè)備的朋友，歡迎來電咨詢：馬勝南15010795119，010-52103382。

微電子實(shí)驗(yàn)室用凈化存儲(chǔ)通風(fēng)柜
品牌：《南軒電子》為高潔凈度通風(fēng)保管柜，適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝過程中存放成品、半成品和材料等 。2.本設(shè)備主要由高效空氣過濾 、通風(fēng)機(jī)、電器控制系統(tǒng)、柜體、門等組成。3.柜體采用銀白色噴砂電泳鋁材作框架，拉絲不銹鋼材料作面板，外形美觀。4.工作區(qū)全部為拉絲不銹鋼板， 四層擱架牢固可靠，前面安裝有染色有機(jī)玻璃門5.主要指標(biāo)：(1).凈化級(jí)別：100級(jí)(2).平均風(fēng)速（m/s）：0.25—0.45 (3).工作區(qū)尺寸920×350×1315mm(寬 ×深×高) (4.)外形尺寸1000×815×1850 mm(寬×深×高) (5).氣流狀態(tài)：氣流為水平單向流，送風(fēng)機(jī)具備兩檔轉(zhuǎn)速，開門時(shí)，高速運(yùn)行，平時(shí)低速運(yùn)行。(6).振動(dòng)：X、Y、Z方向≤5цm (7).噪聲：≤64分貝馬勝南15010795119，010-52103382。
半導(dǎo)體單晶圓片蒸發(fā)清洗線
品牌：《南軒電子》適用于微電子半導(dǎo)體各尺寸硅晶圓片的清洗腐蝕，整體設(shè)備用料為德國進(jìn)口磁白色聚丙烯（PP），經(jīng)雕刻后組合焊接加工而成，門板采用德國透明聚氯乙烯（PVC）；腐蝕槽采用德國自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽采用德國自然色聚丙烯板（NPP）；關(guān)健部件采用進(jìn)口原器件。設(shè)備的腐蝕槽和清洗槽間的轉(zhuǎn)換由進(jìn)口SEW驅(qū)動(dòng)，以迅速實(shí)現(xiàn)槽與槽之間的硅片轉(zhuǎn)換。另外，此設(shè)備腐蝕槽還配有美國聚四氟乙烯加熱器、虹吸上排、傳感器。清洗槽配有溢流裝置，和N2鼓泡裝置。適用于微電子半導(dǎo)體行業(yè)，也適合于高?；瘜W(xué)實(shí)驗(yàn)室作實(shí)驗(yàn)濕臺(tái)、腐蝕臺(tái)。非標(biāo)規(guī)格，具體規(guī)格依客戶工藝確定。有需求此方面設(shè)備的朋友，歡迎來電咨詢：馬勝南15010795119，010-52103382。