儀器主要技術規(guī)格
1.測量范圍與分度值
X、Y坐標 測量范圍: 200×100㎜ 分格值: 0.0005㎜
瞄準顯微鏡 升降行程: 120㎜
立臂傾斜范圍: 左右各15° 分度值: 10′
照明光闌調節(jié)范圍: φ3~φ32㎜ 分格值: 1㎜
測角目鏡 角度測量范圍: 360° 分度值: 1′
輪廓目鏡 角度測量范圍: ±7° 分度值: 10′
圓弧分劃板: 曲率半徑 R0.1~100㎜
螺紋分劃板: 普通螺紋螺距 t = 0.25~6㎜
梯形螺紋螺距 t= 2~20㎜
光學分度臺 測量范圍: 360° 分度值:10″(投影讀數(shù))
(選購件) 玻璃臺面直徑: φ106㎜
光學分度頭 測量范圍: 360° 分度值: 1′
光學定位器 測頭直徑: 實際直徑值的極限檢定誤差不大于0.5μm)
測量力: 0.1±0.03N
最大測量深度: 15㎜
玻璃工作臺 玻璃臺面尺寸: 215×130㎜
頂針架 最大夾持直徑: φ100㎜
最大夾持長度: 被測件直徑 ≤ 55㎜時: 750㎜
被測件直徑 > 55㎜時: 600㎜
高頂針架 最大夾持直徑: φ180㎜
最大夾持長度: 600㎜
V形架 左V形架前后調節(jié)范圍: 前后各5㎜
右V形架高低調節(jié)范圍: 向上15㎜;向下3㎜
最大承載量 40㎏
2.瞄準顯微鏡光學參數(shù)
物鏡放大倍數(shù)標志值
1×
3×
5×
總放大倍數(shù)
用測角或輪廓目鏡
10×
30×
50×
用雙像目鏡
15×
42×
65×
物方視場
(㎜)
用測角或輪廓目鏡
φ20
φ6.7
φ4
用雙像目鏡
φ13
φ4.7
φ3
工作距離
(㎜)
用測角或輪廓目鏡
81
90
65
用雙像目鏡
47
85
63
3.儀器精度
溫度要求 ⑴ 工作室的溫度應為20℃ ± 1℃
⑵ 工作室的溫度變化每小時≤0.5 ℃
?、?nbsp; 被測件和儀器的溫度差≤0.5 ℃
在滿足所規(guī)定溫度要求的條件下,儀器有如下保證:
① X、Y坐標 用玻璃刻度尺進行檢定時,儀器的最大不準確度:
(1 + L / 100)μm
式中L 測量長度,單位:㎜
② 測角目鏡 測量角度的最大不準確度: 不大于1′
③ 雙像目鏡 合像的不穩(wěn)定性: 不大于0.0005㎜
合像的不正確度: 不大于 0.001㎜
④ 光學分度頭 最大不準確度: 不大于30″
⑤ 光學分度臺 最大不準確度: 不大于20″(選購件)
⑥ 光學定位器 測量的不穩(wěn)定性: 不大于0.001㎜
測量的不準確度: 不大于0.0015㎜
4.儀器重量、外形尺寸
主機凈重: 250㎏
外形尺寸(l×b×h): 980×1020×640㎜
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