GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
發(fā)明專利號:ZL2006 2 0074774.X
氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟的基礎(chǔ)行業(yè),隨著國民經(jīng)濟的快速發(fā)展,氣體工業(yè)特別是高純氣體和電子用氣體行業(yè)也蓬勃發(fā)展。氣體中微量雜質(zhì)的分析是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的必要環(huán)節(jié),而這些氣體中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點之一。
目前國內(nèi)在高純氣體分析領(lǐng)域多數(shù)采用的熱導(dǎo)(TCD)檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質(zhì);氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器,只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì);而氬離子檢測器又往往帶有放射源。均不能很好的滿足高純氣體分析的基本要求。隨著國內(nèi)高純氣體行業(yè)的發(fā)展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高,以上幾種檢測器已經(jīng)不能滿足對高純氣體中微量雜質(zhì)檢測的要求。GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
我所研究生產(chǎn)的GC5890H高純氣體分析色譜儀,配備VALCO公司生產(chǎn)的PDHID檢測器,采用一流的中心閥切割技術(shù),是一套靈敏度最高,分離效果最好的高純氣體分析系統(tǒng), 特別適合永久氣體的分析,是唯一能夠檢測至ng/g(ppb)級的色譜儀。GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
適用標(biāo)準(zhǔn):
GB/T 8980-1996《高純氮》
GB/T 14599-93 《高純氧》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》
GB/T 4842-2006《高純氬》
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》
GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-1995《氪氣》
GB/T 5828-1995《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》
GB/T 10621-2006《食品添加劑液體二氧化碳》
GB/T 16942-1997《電子工業(yè)用氣體 氫》
GB/T 16943-1997《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-1997《電子工業(yè)用氣體 氮》
GB/T 16945-1997《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-93《電子工業(yè)用氣體 氧》
GB/T 14600-93《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-93《電子工業(yè)用氣體 高純氨》
GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》
GB/T 14603-93《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》
GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》
GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》
GB/T 15909-1995《電子工業(yè)用氣體 硅烷》
GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
系統(tǒng)配置:
(1)GC-5890H氣相色譜儀
(2)PDHID檢測器
(3)HP-2氦氣純化器
(4)標(biāo)準(zhǔn)氣體
(5)高純氦(純度>99.999%)
(6)載氣專用減壓閥
(7)無死體積專用取樣閥
(8)GC-5890色譜工作站
應(yīng)用要點:
高純氣體的分析是一個復(fù)雜的過程,僅有高靈敏的檢測器是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的,還要考慮樣品本身的特性及其背景,如吸附,取樣及分析過程中是否有空氣混入,系統(tǒng)的密閉性等等環(huán)節(jié),南京科捷分析儀器應(yīng)用研究所總結(jié)了以下幾個高純氣體分析過程中的技術(shù)要點,并一一給予了解決,使GC5890H氦離子化氣相色譜儀很好的完成了氣體中微量雜質(zhì),特別是ppb級的雜質(zhì)的分析。GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
技術(shù)要點 GC5890H的解決方案
1)檢測器的靈敏度、線性重復(fù)性等 GC5890H配備PDHID檢測器,其檢測限可達(dá)ng/g(ppb)級,是目前靈敏度最高的通用型檢測器,對幾乎所有的無機氣體和有機物均有很高的相應(yīng),特別適合永久氣體的分析
2)分析流程的適用范圍和功能
GC5890H采用了可以滿足包括高純氣和電子氣的全分析,具有切割及反吹功能,吸附氧、吸附二氧化碳及其他氣體的全分析流程(詳見流程圖)
3)進樣閥及切換閥切換時空氣的滲漏問題 GC5890H配備了吹掃型十通閥,閥平面始終處于載氣的氛圍中,切換時無空氣滲漏而混入樣品之中
4)載氣的純度須至少高于樣品氣體一個數(shù)量級 GC5890H配備了氦氣純化器,可以將載氣中除惰性雜質(zhì)成份純化到10ppb以下
5)樣品的取樣方式對分析的影響 GC5890H配備了無死體積的專用取樣閥,將取樣過程對分析的影響降至最低的水平,取樣時采用帶吹掃保護的進樣方式,有效的避免了空氣混入的問題
6)色譜柱擔(dān)體對分析的影響 GC5890H所配備的擔(dān)體均做了特殊處理,避免了氧吸附等問題的產(chǎn)生
7)氣路管道及色譜柱內(nèi)壁材質(zhì)對分析的影響 GC5890H所采用的氣路管線及色譜柱管材內(nèi)壁均做了鈍化處理,防止吸附問題的產(chǎn)生
8)樣品進樣對分析的影響 GC5890H的樣品進樣采用特殊背壓閥控制的方式,防止空氣反滲
9)工作站數(shù)據(jù)采集卡噪聲的影響 GC5890H配備的色譜工作站均經(jīng)過超低噪聲的檢測,噪聲均小于2uv
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