制造廠商介紹：
    北京意力博通技術(shù)發(fā)展有限公司, 是韓國COXEM公司在國內(nèi)的合作伙伴，COXEM為國內(nèi)電鏡客戶配套其物美價(jià)廉的小型濺射儀和蒸碳儀。意力博通是由中國科學(xué)院北京科學(xué)儀器廠的幾位高級工程師創(chuàng)辦，他們個(gè)人在掃描電鏡、X射線能譜儀軟件硬件方面的技術(shù)水平，在國內(nèi)是頂級水平。最初意力博通主要業(yè)務(wù)是維修掃描電鏡或者數(shù)字化升級改造國內(nèi)外模擬型掃描電鏡，能譜儀，包括幫助推廣中科院上海硅酸鹽所的專利技術(shù)掃描電聲顯微鏡，以及代理德國布魯克能譜儀，但國內(nèi)市場情況不好，或者說可能這幾位高級工程師并不擅長商業(yè)貿(mào)易。因此他們逐漸把精力放在有更大市場的小型離子濺射鍍膜和蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的研發(fā)上，現(xiàn)在他們已經(jīng)向國內(nèi)客戶提供了幾百上千套各種功能的小型鍍膜機(jī)，包括按照客戶意愿定制的產(chǎn)品，最近兩年，出口到發(fā)達(dá)國家也有幾十臺(tái)。意力博通的工程師，不斷改進(jìn)工藝提高產(chǎn)品可靠性，并按照客戶需要，開發(fā)各種功能，并適時(shí)推出標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。目前可以提供的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品包括：

ETD-2000/3000型離子濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，最簡單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。
 

 常規(guī)Au /Pt 金靶
主要特點(diǎn)：
1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；
2. 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得最佳鍍膜效果；
3. 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用；
5. 根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
 配置參數(shù)：

 靶（上部電極）：金：直徑：50mm，厚度：0.12mm 
真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm
樣品臺(tái)及工作距離：高配旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，簡配固定樣品臺(tái)，高度手動(dòng)調(diào)節(jié)
濺射面積： Ф50mm，最大放置
真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
離子電流表： 最大電流：50mA(100mA)
 定時(shí)器： 最長時(shí)間：900S
微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管 
可通入氣體： 多種
 最高電壓： -1600（-3000）DCV
機(jī)械泵： 2L/S    （120L/min）
樣品表面離子清潔（選配）
 
 意力博通還提供以下服務(wù)：
維修或改造所有類型任何品牌的掃描電子顯微鏡(SEM)、數(shù)字圖像和Si(Li)探測器。提供國產(chǎn)化能譜儀及改造X射線能譜儀等。