制造廠商介紹:
北京意力博通技術(shù)發(fā)展有限公司, 是韓國COXEM公司在國內(nèi)的合作伙伴,COXEM為國內(nèi)電鏡客戶配套其物美價廉的小型濺射儀和蒸碳儀。意力博通是由中國科學(xué)院北京科學(xué)儀器廠的幾位高級工程師創(chuàng)辦,他們個人在掃描電鏡、X射線能譜儀軟件硬件方面的技術(shù)水平,在國內(nèi)是頂級水平。最初意力博通主要業(yè)務(wù)是維修掃描電鏡或者數(shù)字化升級改造國內(nèi)外模擬型掃描電鏡,能譜儀,包括幫助推廣中科院上海硅酸鹽所的專利技術(shù)掃描電聲顯微鏡,以及代理德國布魯克能譜儀,但國內(nèi)市場情況不好,或者說可能這幾位高級工程師并不擅長商業(yè)貿(mào)易。因此他們逐漸把精力放在有更大市場的小型離子濺射鍍膜和蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的研發(fā)上,現(xiàn)在他們已經(jīng)向國內(nèi)客戶提供了幾百上千套各種功能的小型鍍膜機,包括按照客戶意愿定制的產(chǎn)品,最近兩年,出口到發(fā)達國家也有幾十臺。意力博通的工程師,不斷改進工藝提高產(chǎn)品可靠性,并按照客戶需要,開發(fā)各種功能,并適時推出標(biāo)準化產(chǎn)品。
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ETD-2000C型在ETD-2000型基礎(chǔ)上,增加了蒸碳附件。適用于分析型掃描電鏡對于不同分析需要的導(dǎo)電膜層制備。
配置參數(shù)如下:
儀器尺寸 : 400mm×300mm×400mm(L×W×H)
真空樣品室: 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm(D×H)
靶(上部電極): 50mm×0.1mm(D×H)
樣品臺: 50mm(D) ,自動旋轉(zhuǎn)。
操作真空: 4×10-1mbar至2×10-2mbar
微型真空氣閥: 可連接φ3mm軟管
可通入氣體: 多種
工作電壓: 0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流: 0-50mA
濺射定時: 1-9999S
蒸碳電流 0-10A(AC)
真空泵: 4L/S兩級機械旋轉(zhuǎn)泵(極限真空2×10-2mbar)
樣品表面離子清潔(選配)
意力博通還提供以下服務(wù):
維修或改造所有類型任何品牌的掃描電子顯微鏡(SEM)、數(shù)字圖像和Si(Li)探測器。提供國產(chǎn)化能譜儀及改造X射線能譜儀等。