XE-100是Park Systems的旗艦產(chǎn)品。該產(chǎn)品可以實現(xiàn)精確的納米計量和無損檢測。新增的多區(qū)域自動掃描功能，更是極大的提高了檢測效率。該系統(tǒng)可廣泛的應用于材料科學、聚合物、電化學等諸多領域。近年來，Raman HR-800和XE-100的聯(lián)合系統(tǒng)更是幫助VLSI開拓出了對100納米以下硅微結構進行機械性能分析的新天地。
技術參數(shù)(機械部分)：
1. XY掃描器：50μm×50μm（閉環(huán)），可選配100μm×100 μm（閉環(huán)）
2. Z掃描器：12μm (可選配25μm)
3. 水平度：50μm線掃描垂直偏差不超過1nm
4. XY和Z掃描器的正交性：1.0o
5. 樣品臺移動范圍：25mm×25mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 樣品尺寸：100mm×100mm
7. 光學觀察：垂直光路設計，可直接觀察微懸臂和樣品
技術參數(shù)(電子部分)
1. 微處理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模數(shù)/數(shù)模：16位，500kHz采樣頻率
3. 圖像采集：同步自動采集16幅圖像，分辨率高達4096×4096像素
4. 通訊方式：采用基于TCP/IP協(xié)議的通訊方式與計算機聯(lián)接
5. 符合CE認證標準
標準工作模式：
. 真正非接觸模式(True non-contact mode)
. 接觸模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 橫向力模式(LFM)
擴展工作模式：
. 力測量（Force measurements）
. 導電（Conductive AFM）
. 電力（Electric Force）
. 電子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 機械 (Mechanical)
. 熱 (Thermal)
主要特點：
一、 計量精確
XE系列AFM徹底消除了球面誤差，因而具備了實現(xiàn)精確納米計量的能力。
二、 掃描器線形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性掃描器最大限度減小了X和Y掃描運動的交叉耦合，并且通過位移傳感器及時進行反饋控制，這就有效保證了掃描的準確度和精度。
三、 非接觸式掃描
可真正實現(xiàn)非接觸式掃描是Park AFM最顯著的技術優(yōu)勢。采用這一模式掃描時，針尖和樣品間距可以保持在幾個納米，在避免針尖磨損的同時提高了成像質(zhì)量。
四、 CrN樣品測試結果
CrN樣品具有點狀尖銳的特點，是常用的AFM探針性能測試樣品。如采用輕敲模式進行掃描，10次后圖像質(zhì)量就因針尖磨損而明顯下降。在非接觸掃描實驗中，掃描100次后圖像細節(jié)依然清晰，證明針尖沒有受到損傷。