考慮到眾多預算有限用戶對高性能AFM的需求,Park Systems精心設計并推出了XE-70這款經濟型高性能AFM。XE-70果斷放棄了部分成本較高的調節(jié)馬達，堅決保留了所有XE系列產品的創(chuàng)新技術，并保證該款機型可與XE系列產品的各種擴展功能組件和選配件完全兼容。
技術參數(機械部分)：
1. XY掃描器：50μm×50μm（閉環(huán)），可選配100μm×100 μm（閉環(huán)）
2. Z掃描器：12μm (可選配25μm)
3. 水平度：50μm線掃描垂直偏差不超過1nm
4.  XY和Z掃描器的正交性：1.0°
5. 樣品臺移動范圍：25mm×25mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 樣品尺寸：100mm×100mm
7. 光學觀察：垂直光路設計，可直接觀察微懸臂和樣品
技術參數(電子部分)
1. 微處理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模數/數模：16位，500kHz采樣頻率
3. 圖像采集：同步自動采集16幅圖像，分辨率高達4096×4096像素
4. 通訊方式：采用基于TCP/IP協議的通訊方式與計算機聯接
5. 符合CE認證標準
標準工作模式：
. 真正非接觸模式(True non-contact mode)
. 接觸模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 橫向力模式(LFM)
擴展工作模式：：
. 力測量（Force measurements）
. 導電（Conductive AFM）
. 電力（Electric Force）
. 電子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 機械 (Mechanical)
. 熱 (Thermal)
主要特點：
一、計量精確
XE系列AFM徹底消除了球面誤差，因而具備了實現精確納米計量的能力。
二、掃描器線形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性掃描器最大限度減小了X和Y掃描運動的交叉耦合，并且通過位移傳感器及時進行反饋控制，這就有效保證了掃描的準確度和精度。
三、非接觸式掃描
可真正實現非接觸式掃描是Park AFM最顯著的技術優(yōu)勢。采用這一模式掃描時，針尖和樣品間距可以保持在幾個納米，在避免針尖磨損的同時提高了成像質量。
四、CrN樣品測試結果
CrN樣品具有點狀尖銳的特點，是常用的AFM探針性能測試樣品。如采用輕敲模式進行掃描，10次后圖像質量就因針尖磨損而明顯下降。在非接觸掃描實驗中，掃描100次后圖像細節(jié)依然清晰，證明針尖沒有受到損傷。