美國產(chǎn)Plasma Cleaning System
PE25臺式實驗室等離子表面處理機
等離子表面處理機是一種非破壞性的表面處理設備,它是利用能量轉換技術,在一定真空負壓的狀態(tài)下,以電能將氣體轉化為活性極高的氣體等離子體,氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面,引起分子結構的改變,從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗,在極短時間內有機污染物就被外接真空泵徹底抽走,其清洗能力可以達到分子級。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質,所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗器既能加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性,也能對樣品進行消毒和殺菌。等離子清洗器現(xiàn)已廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、高分子、生物醫(yī)學、微觀流體學等領域。小型等離子清洗機以體積小、成本低、操作簡便等特點廣泛應用于科研及小批量生產(chǎn)場合。
PE公司成立于1980年,致力于提供電子行業(yè)用的等離子設備及相關服務。通過幾十年的發(fā)展,公司發(fā)展成為提供等離子設備方面的專家,可為客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品和解決方案,先后眾多知名企業(yè)提供等離子處理設備:美國宇航局NASA, 美國波音Boeing,著名的電子保安系統(tǒng)產(chǎn)品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,美國摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer,世界軍用飛機的領軍企業(yè)美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。
PE公司介紹
PE25小型等離子表面處理設備是專門針對于大學,研究機構和工廠研發(fā)設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計,突出移動方便,超高功能和性能,操作方便的使用特性。
設備特點:
1. 體積小,(寬356mm*高368mm*深457mm),配備小型真空泵,無需占用很大空間,可以放置在任何實驗臺上。
2. 性能可靠,“度量”寬大。真空腔體采用T6061經(jīng)過特殊處理的航空鋁合金材料無縫焊接,電極面積達到89mm*170mm,腔體與電極之間的間隙可到53mm,可以輕松將大部分實驗樣品放入真空腔體內。
3. 配置靈活,PE25擁有靈活多變的參數(shù)配置組合,能夠滿足使用者的不同需求。除了配置不同的頻率(50KHz,13.56MHz),不同的頻率段,還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上,也配置了面板控制和更精準的全數(shù)字電腦控制,以滿足用戶的使用要求。
4. 操作簡便,設備的安裝非常簡單,工廠還提供詳盡的說明和相應的管道等配件。面板的操作部分,在設計中做到盡可能簡單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障:在小型設備中,唯一引入一鍵急停保護按鈕,當參數(shù)設置有誤而設備已經(jīng)啟動的時候,可以快速終止實驗,以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
PE-25參數(shù):
外部尺寸
W14xH14.5xD18 (356mm*368mm*457mm )重量:52磅
真空腔材質
耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸
5IDx8D (127mm*203mm)
電極尺寸
89*178mm,間隙63mm
等離子發(fā)生器
功率 max.150w(可調)
頻率:50KHz(可選配13.56MHz)
供氣
氣體流量控制器 0-25cc/min w/精密針形閥
壓力測量
熱電偶真空計 0-1Torr
控制器
PLC微電腦控制系統(tǒng)。方案工藝可以進行自動處理
安全保障
一鍵急停按鈕
電源
220VAC,14A
附件(可選件)
抽氣裝置:推薦型號:5 CFM 2級 直驅真空油泵
•氧氣發(fā)生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
•100w, 13.56MHz可自動調節(jié)射頻發(fā)生器
高級裝置:
•PC /筆記本電腦的控制系統(tǒng):裝載有等離子蝕刻軟件的一臺筆記本電腦是包括全自動系統(tǒng)操作,
流程排序,多配方存儲,以及其他高級功能。
•質量流量控制器:附加質量流量控制器也可提供。
樣品處理實例(碳化鎢基底上的DLC涂層去除)
功能:
• 對金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機污染物 (如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等)進行超AA清洗。
• 改變某些材料表面的性能。
• 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
• 清除金屬材料表面的氧化層。
• 對被清洗物進行消毒、殺菌。